警告：必須要非常小心地處理有毒的、腐蝕性的或易燃易爆的氣體。在質量流量控制器/ 流量計安裝之后，應該*的檢查整個氣路以保證沒有氣體泄漏。通入腐蝕性氣體之前應先通一個小時的干燥惰性氣體以清洗質量流量控制器/流量計。

重要提示：當安裝質量流量控制器/流量計時，確保產(chǎn)品通道所示的箭頭方向與流經(jīng)產(chǎn)品的氣體流動方向相同

七星流量計在大多數(shù)應用場合下，需要在氣路中安裝一個截止閥。截止閥與 MFC 或 MFM 間的截留加壓氣體將會產(chǎn)生清洗效果，用戶應根據(jù)情況來決定截止閥的安裝位置(上游或下游)。為了防止污染，建議您在產(chǎn)品的上游管路中安裝過濾器。

注意 :  氣體質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣（N2）標定。

質量流量的單位規(guī)定為: SCCM (標準毫升/分);

SLM (標準升/分)

標準狀態(tài)規(guī)定為: 溫度 —— 273.15K ( 0℃ );

氣壓 —— 101325 Pa (760mm Hg)

在七星流量計 MFC/MFM 產(chǎn)品中心，單位 SCCM 和“mL/min, 0℃,1atm”等同，單位 SLM 和“L/min, 0℃,1atm”等同。

F.S.  (Full  Scale): 滿量程值 ； S.P.(Set Point)： 設定點值